ARIM微細加工部門/物質合成部門装置一覧

• OS-101(F11)　高精細集束イオンビーム装置
• OS-114(I21)　RFスパッタ成膜装置　金属成膜用
• OS-115(I22)　RFスパッタ成膜装置　絶縁膜成膜用
• OS-110(I23), 111(N02)　リアクティブエッチング装置
• OS-109(I24)　深掘りエッチング装置
• OS-103(I25)　超高精細電子ビームリソグラフィー装置125k
• OS-102(N01)　SEM付集束イオンビーム装置
• OS-113(N03)　多元DC/RFスパッタ装置
• OS-116(N04)　ICP-RFスパッタ装置(ヘリコン型RFスパッタ装置)
• OS-117(N05)　EB蒸着装置(電子ビーム蒸着装置)
• OS-126(N07)　接触式膜厚測定器(膜厚計)
• OS-105(N09)　高速大面積電子ビームリソグラフィー装置
• OS-107(N08)　マスクアライナー
• OS-104(N10)　自動搬送電子ビーム描画装置
• OS-127(N31)　レーザーラマン顕微鏡
• OS-125(N32)　走査型プローブ顕微鏡(E-sweep)
• OS-128(N33)　物理特性測定装置
• OS-108(S01)　ナノインプリント装置
• OS-120(S32)　薄膜X線回折装置
• OS-123(S35)　ナノ粒子解析装置(ゼータサイザー)
• OS-119(N62)　自動制御型パルスレーザー蒸着ナノマテリアル合成装置