OS-126 (N07) 接触式膜厚測定器(膜厚計) BRUKER DektakXT-A
stylus profiler
特徴
10nm以下の段差を測定できる触針式の膜厚測定器
3D機能を備えたプロファイリングシステムを搭載しており、3Dマッピングが可能
仕様
試料ステージ：150mmφ
分解能：0.4nm
垂直測定レンジ：1 mm
膜厚測定再現性（1σ）：5Å
走査距離上限：55mm
触針圧：1mg～15mg
設置場所：N-415
装置番号：N07
ARIM装置番号：OS-126
