OS-102 (N01) SEM付集束イオンビーム装置 ZEISS Nvision 40D with NPVE
focused ion beam system with SEM
特徴
30keVのGa+イオンによるFIB加工及び加工時のSEM観察が可能
FIBによる気相蒸着によりPtおよびSiO2による配線の修復が可能
仕様
ステージサイズ：max 8 inch
Pt銃、SiO2銃装備
FE-SEMユニット, 加速電圧:30keV
検出器：InLens, SE,Esb
FIBユニット, 加速電圧:30keV
最小ビーム径：4nm
設置場所：N-415
装置番号：N01
ARIM装置番号：OS-102
