OS-101(F11) 高精細集束イオンビーム装置（He/Ne イオン）
OS-104(N10) 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 150k
OS-118(N61) パルスレーザーMBE装置（PLD）
OS-113(N03) 多元DC/RFスパッタ装置
上記の装置は現在メンテナンス作業中です。利用可能になり次第当ホームページにてお知らせいたします。
事業の概要
大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点は、
新たに大阪大学マテリアル先端リサーチインフラ設備供用拠点としてスタートします
大阪大学NOF（ナノテクノロジー設備供用拠点）は2012年7月より文部科学省の「ナノテクノロジープラットフォーム事業」に参画し、産業イノベーション創出のため地域企業や研究機関への先端的な研究施設・機器の提供を積極的に推進し、多様な研究分野への研究支援を行ってまいりました。
この度、大阪大学マテリアル先端リサーチインフラ設備供用拠点として新たなスタートを切ります。10年にわたり培ってまいりました「ナノテクノロジープラットフォーム事業」での学内外への研究支援の経験と実績を「マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM:Advanced
Reserch Infrastructure for Nanotechnology)」の基礎となる最先端供用設備の提供および高度な技術支援に生かし、大阪大学ARIM微細構造解析プラットフォームおよび大阪大学ARIM微細加工/物質合成プラットフォームの２つのプラットフォームが連携して、革新的取り組みに挑んでまいります。
