OS-104 (N10) 自動搬送電子ビーム描画装置 エリオニクス ELS-BODEN-OU4801
Automatic Transport Electron Beam Lithography System
特徴
ZrO/W熱電解放射型電子銃の採用により、最小ビーム径1.5nmφの極細線用ビームを長時間安定して使用することが可能
最高150kVの加速電圧を採用し、最小線幅4nmの描画が可能
(実験条件によるものであり、保証するものではありません)
仕様
加速電圧：150kV
最小電子ビーム径：φ1.5nm
最小描画線幅：4nm
ビーム電流可変域：5pA-100nA
描画フィールドサイズ：□100μm、□250μm、□500μm
設置場所：N-415
装置番号：N10
ARIM装置番号：OS-104
