OS-107(N08)　マスクアライナー

OS-107 (N08)　マスクアライナー　ミカサ　MA-10
mask aligner

 

 

特徴

UV露光、マニュアルタイプ、コンタクト露光機
二視野顕微鏡採用によるスピーディで正確なアライメントが可能

 

仕様

試料サイズ： 2 inch φ、マスクは 3 inch角まで対応可能
水銀灯250W光源（ブロード波長）
二視野顕微鏡採用

 

 

 

 

設置場所：N-415
装置番号：N08
ARIM装置番号：OS-107