【2025/5/14 （水) 開催】 大阪大学ARIM技術セミナー
2025年度 大阪大学ARIM技術セミナー
「初心者からプロまで：電子ビーム描画装置の活用法」
概要
技術セミナー『初心者からプロまで：電子ビーム描画装置の活用法』を2025年5月14日（水）に開催いたします。
前半はオンライン参加可能な座学，後半は実機を利用した演習と質疑応答になります。
産学官いずれのご所属の方にも奮ってのご参加をお待ちしております。
セミナー
【開催日時】2025年5月14日（水） 10：00～15：00
【開催方式/場所】 現地開催＋オンライン
現地開催：大阪大学 吹田キャンパス 産業科学研究所 S308セミナー室 N415クリーンルーム
オンライン：Zoom
【参加費】無料
【定員】現地：6名（先着順，参加登録をお願いします
【オンライン定員】：100名（先着順，参加登録をお願いします）
【オンラインお申込み】 参加登録フォームはこちら
もしくは右のQRコードよりお申込み下さい お申込み締切：2025年5月12日（水）
【講演プログラム】
10:00-10:05 はじめに 大阪大学 産業科学研究所 岡本 稔
10:05-11:30 『描画装置の基礎講座』 株式会社エリオニクス 杉原 達記
13:00-15:00 『実機演習＆質疑応答』 株式会社エリオニクス 杉原 達記
【講演者紹介】
株式会社エリオニクス 杉原 達記 氏
2014年入社。学生時代より微細加工系の研究室に所属し、現在は電子ビーム描画装置の
デモンストレーションやアプリケーションデータ作成業務に従事。2025年3月に社会人
ドクターとして博士号を取得。趣味は旅行。
主催・共催
【主催】大阪大学マテリアル先端リサーチインフラ設備供用拠点（ARIM）
【共催】株式会社エリオニクス
お問い合わせ
大阪大学 マテリアル先端リサーチインフラ設備供用拠点（ARIM) 事務局
