OS-101(F11) 高精細集束イオンビーム装置(He/Ne イオン)
OS-118(N61) パルスレーザーMBE装置(PLD)
OS-102(N01) SEM付集束イオンビーム装置
OS-128(N33) 物理特性測定装置 PPMS DynaCool-9
OS-109 (I24) 深掘りエッチング装置 RIE-400iPB-NP(ガス納入まで使用不可、2024年1月納入予定)
OS-113 (N03) 多元DC/RFスパッタ装置 EB1100(チラー温度以上の為使用不可)
OS-103 (I25) 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 ELS-100T (ハイトセンサー通信エラーの為使用不可)
上記の装置は現在メンテナンス作業中です。利用可能になり次第当ホームページにてお知らせいたします。