OS-101(F11) 高精細集束イオンビーム装置（He/Ne イオン）
OS-118(N61) パルスレーザーMBE装置（PLD）
OS-102(N01) SEM付集束イオンビーム装置
OS-128(N33) 物理特性測定装置 PPMS DynaCool-9
OS-109 (I24) 深掘りエッチング装置 RIE-400iPB-NP（ガス納入まで使用不可、2024年1月納入予定）
OS-113 (N03) 多元DC/RFスパッタ装置 EB1100（チラー温度以上の為使用不可）
OS-103 (I25) 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 ELS-100T （ハイトセンサー通信エラーの為使用不可）
上記の装置は現在メンテナンス作業中です。利用可能になり次第当ホームページにてお知らせいたします。
12/25～1/3 施設を利用することはできません
年末の施設の最終ご利用日は12/22(金)です。
12/25,26 施設メンテナンスの為休業
12/27,28 大阪大学全体での節電に係る臨時一斉休業
12/29-1/3 大阪大学冬季休業
2024年１月４日(木)より営業いたします。ご協力に感謝いたします。
2023年度利用申請受付を開始いたしました。
大阪大学マテリアル先端リサーチインフラ事業において、装置利用に伴い創出されるマテリアルデータを、今後活用しやすい形に再構築し提供する予定としており、今年度よりデータ提供を検討いただける場合に、ARIM 利用料割引を開始致しました。
電気料金の大幅な値上げ等により利用料金を改定致しますが、利用料金の上限額がある月極及び年極金額の制度もございますので是非ご利用をご検討願います。
今年度は上記の改定があった為、ご利用申請の案内が遅くなり申し訳ございません。
データ提供割引について、今年度は試験的に実施する予定です。現段階では装置を使用するにあたって入力するパラメータおよび計測データを公開しても問題ないという方にはデータ提供割引の料金を適用させていただきます。
原則、申請承認後のデータ提供意思表示の変更はできかねますことご了承ください。
なお、利用に関しては昨年度同様、申請後審査を行い、利用の可否をご連絡いたします。
準備が整い次第、順次設備利用を開始いたします。
ご理解、ご協力に感謝いたします。
利用申請書は、こちらからダウンロード後必要事項を入力後（手書き不可）送付ください。
ご不明な点は、こちらよりお問い合わせください。
詳細は、利用について をご覧ください。
微細構造解析PF（超高圧電子顕微鏡センター）では、学内外新規利用申請受付中です。
学外の方は、利用申請から申請が可能です。
学内の方は、超高圧電子顕微鏡センターへご申請ください。
※詳細については、こちらをご確認ください。
微細加工・物質合成PF（産業科学研究所）の新規利用申請受付は後日開始いたします。
ご協力に感謝いたします。
大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点は、2021年度 大阪大学マテリアル先端リサーチインフラ設備供用拠点としてあたらなスタートを切りました。
それに伴い、WEBサイトをリニューアルしました。
