【お願い】 ARIMクリーンルーム試薬撤去について

ARIMクリーンルームご利用の皆様

日頃はマテリアル先端リサーチインフラ設備供用拠点クリーンルーム運営管理にご協力いただきありがとうございます。
薬品の価格上昇および大阪大学ARIMスタッフ人員不足により維持管理が難しく、来期(2025年4月)から以下のように薬品の提供を停止させていただきます。
ご迷惑おかけいたしますが、諸般の事情をご賢察いただきご理解の程、何卒よろしくお願い申し上げます。

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①クリーンルーム内は原則として装置清掃用のEtOHのみ無償提供になります。
 それ以外の薬品(Acetone,IPAなど)はご持参ください。その際、廃液はお持ち帰りください。
  
②フォトレジスト用現像液(NMD-3)の無償提供は無くなりましたので、ご持参ください。
 その際、廃液はお持ち帰りください。
 
③フォトレジストについて現在保有しているレジスト(使用期限切れ)は無償提供いたします。
 無くなり次第、提供は無くなります。

④DMFの提供は無くなりましたので、ご持参ください。その際、廃液はお持ち帰りください。
 尚、この薬品はPRTR法管理物質及び労働安全衛生規則における報告義務対象物質ですので、
 各研究室で管理・報告を宜しくお願いいたします。

⑤エスペイサーの無償提供は無くなりましたので、ご持参ください。
 
⑥ZED-N50について現在の保有量分は無償提供いたします。無くなり次第、提供は無くなります。

⑦Crエッチング液の無償提供は無くなりましたので、ご持参ください。その際、廃液はお持ち帰りください。
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従来通りドラフトでの作業は可能ですし、ビーカー・シャーレなどの器具のご利用も可能です。
その際、ご利用になったビーカー・シャーレなどの洗浄廃液はお手数ですがお持ち帰りください。
廃液タンクは設置しておりませんのでご了承ください。

ご迷惑をおかけいたしますが、何卒ご協力よろしくお願い申し上げます。

2025年02月28日