2024年度 大阪大学ARIM技術セミナー (現地開催は定員に達しました）
2024年度 大阪大学ARIM技術セミナー
「初心者からプロまで：電子ビーム描画装置の活用法」
技術セミナー『初心者からプロまで：電子ビーム描画装置の活用法』を2025年2月14日（金）に開催いたします。
最先端の自動搬送型超高精細電子ビーム描画装置の構成や実際に用いた微細加工の原理と考え方，露光条件の検討手法についてご紹介いたします。
前半はオンライン参加可能な座学，後半は実機を利用した演習と質疑応答になります。産学官いずれのご所属の方にも奮ってのご参加をお待ちしております。
【開催日時】2025年２月14日（金） 10：00～15：00
【開催方式/場所】 現地開催＋オンライン ※現地開催は定員に達しました
現地開催：大阪大学 吹田キャンパス 産業科学研究所 S308セミナー室 N415クリーンルーム
オンライン：Zoom
【参加費】無料
【定員】現地：6名（先着順，参加登録をお願いします）
オンライン：100名（先着順，参加登録をお願いします）
【講演プログラム】
10:00-10:05 はじめに 大阪大学 産業科学研究所 谷口 正輝
10:05-11:30 『描画装置の基礎講座』 株式会社エリオニクス 永井 佐利
11:30-12:30 昼休憩
13:00-15:00 『実機演習＆質疑応答』 株式会社 エリオニクス 永井 佐利
【講演者紹介】
株式会社エリオニクス 永井 佐利 氏
2010年入社 電子ビーム描画装置開発一筋の技術者
趣味はフットサル (エリオニクスフットサルサークルの代表)
【お申込み】 参加登録フォームはこちら
もしくは右のQRコードよりお申込み下さい
お申込み締切：2025年2月12日（水）
【主催】大阪大学マテリアル先端リサーチインフラ設備供用拠点（ARIM）
【共催】株式会社エリオニクス
【お問い合わせ】大阪大学 マテリアル先端リサーチインフラ設備供用拠点（ARIM) 事務局
