2023年度大阪大学ARIMオンラインセミナー

微細加工・電子ビーム露光技術
～電子線描画におけるスループット向上のためのテクニック～

大阪大学マテリアル先端リサーチインフラ設備供用拠点（ARIM）は、令和３年度からスタートした文部科学省委託事業である「マテリアル先端リサーチインフラ事業」の一環として、『微細加工・電子ビーム露光技術』と題しましてオンラインによる技術セミナーを開催いたします。

レーザー描画、電子ビーム描画、機械加工プロセスを用いた微細加工アプリケーション、スループットの観点から捉えた電子ビーム描画装置の選択と露光条件の検討についてご紹介いたします。

産官学いずれのご所属の方にも奮ってのご参加をお待ち申し上げます。

 

【対象者】企業、大学、公的研究機関など、いずれのご所属の方でもご参加いただけます。

【日程】2024年 1月 1９日(金)　10:00～11:30

【ウェビナー配信】GoogleMEETによるオンライン開催 (PC参加の場合Googleアカウントは必要ありません）

【お申込み】2024年 1月 16日(火)　締め切り 　　参加登録フォームはこちら

【参加費】無料　

【申し込みお問い合わせ】大阪大学　マテリアル先端リサーチインフラ設備供用拠点

　　詳細はこちらをご覧ください。