装置利用情報（メンテナンス）

OS-101(F11)　高精細集束イオンビーム装置（He/Ne イオン）
OS-118(N61)　パルスレーザーMBE装置（PLD）
OS-128(N33)　物理特性測定装置　PPMS DynaCool-9
OS-113 (N03)　多元DC/RFスパッタ装置　EB1100（チラー温度異常の為使用不可）

上記の装置は現在メンテナンス作業中です。利用可能になり次第当ホームページにてお知らせいたします。