【10月6日（月）】マスクレス露光装置の供用を開始します

2025年10月6日（月）より、マスクレス露光装置の供用を開始することとなりました。

装置の概要はこちら
利用申請はこちらから

★★注意事項★★
本装置を初めてご利用される方はオペトレを受けていただく必要がありますが、諸事情により、オペトレの実施可能日が11月中旬以降となる見込みです。
ご不便をお掛けいたしますが、オペトレを必要とする方には今しばらくご利用をお待ちいただけますよう、お願いいたします。
オペトレが実施可能になりましたら、あらためてお知らせします。

なお、すでに本装置のご利用経験のある方はこの限りではありませんので、申請の際にお名前と合わせてご利用経験をお知らせください。