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Molecule & Material Synthesis Platform
in Nanotechnology Open Facilities

支援提供装置EQuipments

成膜・加工装置(メーカー/型番)【装置番号】

パルスレーザーMBE装置(誠南工業株式会社/PLO-020R)【S01】
RFスパッタ装置(サンユー電子株式会社/SVC-700LRF)【S10】
ICP-RFスパッタ装置/ヘリコン型 RFスパッタ装置(アルバック株式会社/MB02-5002)【S09】
有機蒸着装置(誠南工業株式会社/VCH-020R)【S02】
電気炉(誠南工業株式会社/ARF-30K )【S11】
反応性イオンエッチング装置(サムコ株式会社/RIE-10NR)【S13】
SIMS付カウフマン型イオンミリング装置(伯東/IBE-KDC75-EPD-OU-TA)【S16】

分析・分光装置(メーカー/型番)【装置番号】

走査型電子顕微鏡[SEM](日立ハイテクノロジーズ/SU9000)【S14】
走査型プローブ顕微鏡[AFM](日立ハイテクサイエンス/E-sweep AFM5000・AFM5300E)【S15】
イオン化エネルギー測定装置(分光計器/イオン化エネルギー測定部 BIP-KV202GD)【S18】
レーザー照射励起電流測定装置(分光計器/電流密度分布評価測定部BIP-KV302K)【S20】
ナノ粒子解析装置[ゼーターサイザー](シスメックス株式会社/NANO-ZS)【S07】
接触式膜厚測定器[膜厚計](BRUKER/DektakXT)【S17】
薄膜X線回折装置[XRD](株式会社リガク/Ultima IV)【S04】
紫外可視分光光度計(日本分光株式会社/V-550)【S12】
フーリエ変換赤外分光光度計[FT-IR](日本分光株式会社/6100FV型 MCT-600)【S06】
赤外・テラヘルツ時間分解分光装置(日邦プレシジョン株式会社/Pulse IRS 2000-os)【S05】
位相変調型分光エリプソメーター(株式会社堀場製作所/UVISEL LT NIR-NNG)【S08】
レーザーラマン顕微鏡(ナノフォトン/RAMAN-touch)【S19】


ナノテクノロジー設備供用拠点

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘7-1
大阪大学超高圧電子顕微鏡センター内
TEL 06-6879-7941
(微細構造解析プラットフォーム)

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1
大阪大学産業科学研究所内 N棟
410号室・411号室
TEL 06-6879-4654
(微細加工プラットフォーム)
TEL 06-6879-4309
(分子・物質合成プラットフォーム)