Nanofabrication Platform
in Nanotechnology Open Facilities
支援員紹介MEMBER
支援員紹介
支援員 |
主な担当設備 |
|
| 柏倉 美紀 かしわくら みき |
 |
電子ビームリソグラフィー装置 LED描画システム 多元DC/RFスパッタ装置 SEM付集束イオンビーム装置 など |
| 参考 Nanotech Japan掲載支援例 インタビュー記事 http://nsn.kyoto-u.ac.jp/topic/interview-h26-1.html |
||
| 近田 和美 こんだ かずみ |
 |
超高精細電子ビームリソグラフィー装置 深掘りエッチング装置 リアクティブイオンエッチング装置 RFスパッタ成膜装置 など |
| 参考 Nanotech Japan掲載支援例 |
||
| 津本 弥生 つもと やよい |
 |
多元DC/RFスパッタ装置 リアクティブイオンエッチング装置 電子ビームリソグラフィー装置 マスクアライナー EB蒸着装置 など |
| 出口 寛子 でぐち ひろこ |
 |
高速大面積電子ビーム リソグラフィー装置 電子ビームリソグラフィー装置 SEM付集束イオンビーム装置 など |
| ●第６回微細加工プラットフォーム成果発表会にて当拠点技術支援員の近田和美さんが発表した 「安定した描画のための電子線描画装置の維持管理」が優秀貢献賞を受賞しました。(令和元年7月19日） ●当拠点技術支援員の柏倉美紀さんが文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム専門技術者(微細加工領域)に認定されました。(平成28年12月5日） |
  |
ナノテクノロジー設備供用拠点
〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1
大阪大学産業科学研究所内
ナノテク棟４F N409、N411室
TEL 06-6879-4654
(微細加工プラットフォーム)
TEL 06-6879-4309
(分子・物質合成プラットフォーム)