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Nanofabrication Platform
in Nanotechnology Open Facilities

支援員紹介MEMBER

支援員紹介

支援員 

主な担当設備

柏倉 美紀 
かしわくら みき


電子ビームリソグラフィー装置
LED描画システム
多元DC/RFスパッタ装置
SEM付集束イオンビーム装置
など
参考
Nanotech Japan掲載支援例
 https://www.nanonet.go.jp/magazine/archive/?page=1362.html  
インタビュー記事
 http://nsn.kyoto-u.ac.jp/topic/interview-h26-1.html
近田 和美 
こんだ かずみ
超高精細電子ビームリソグラフィー装置
深掘りエッチング装置
リアクティブイオンエッチング装置
RFスパッタ成膜装置
など
参考
Nanotech Japan掲載支援例
  https://www.nanonet.go.jp/magazine/feature/nanotech-pickup/20.html
津本 弥生 
つもと やよい
多元DC/RFスパッタ装置
リアクティブイオンエッチング装置
電子ビームリソグラフィー装置
マスクアライナー
EB蒸着装置
など
出口 寛子 
でぐち ひろこ
高速大面積電子ビーム
  リソグラフィー装置
電子ビームリソグラフィー装置
SEM付集束イオンビーム装置
など


●第6回微細加工プラットフォーム成果発表会にて当拠点技術支援員の近田和美さんが発表した 「安定した描画のための電子線描画装置の維持管理」が優秀貢献賞を受賞しました。(令和元年7月19日)

●当拠点技術支援員の柏倉美紀さんが文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム専門技術者(微細加工領域)に認定されました。(平成28年12月5日)









ナノテクノロジー設備供用拠点


〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1
大阪大学産業科学研究所内
 ナノテク棟4F N409、N411室
TEL 06-6879-4654
(微細加工プラットフォーム)
TEL 06-6879-4309
(分子・物質合成プラットフォーム)