Nanofabrication Platform
in Nanotechnology Open Facilities
支援員紹介MEMBER
支援員紹介
支援員 |
主な担当設備 |
支援員からの
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| 柏倉美紀 |  |
高精細電子線リソグラフィー装置 電子ビームリソグラフィー装置 LED描画システム 多元DC/RFスパッタ装置 など |
主に電子ビームリソグラフィ装置とLED描画システムを担当。ナノ・マイクロデバイス加工をトータル的にサポートします。 |
| 近田和美 |  |
高精細集束イオンビーム装置 超高精細電子ビームリソグラフィー装置 深掘りエッチング装置 集束イオンビーム誘起化学蒸着装置 など |
日本に三台しかないヘリウムイオン顕微鏡や高精細電子線描画装置、シリコン深堀りエッチング装置など様々な手法を用いてユーザーの要望にお応えしています。 |
| 前川芳美 |  |
ナノ薄膜形成システム マスクアライナー リアクティブイオンエッチング装置 RFスパッタ成膜装置 など |
当学が持つ”智”とノウハウで、様々な面からユーザーをサポートいたします。 |
●当拠点技術支援員の柏倉美紀さんが文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム専門技術者(微細加工領域)に認定されました。 ●第３回微細加工プラットフォーム成果発表会にて当拠点技術支援員の前川芳美さんが発表した 「大阪大学におけるプロセス改善事例と支援力強化のための取り組み」が優秀貢献賞を受賞しました。 |
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ナノテクノロジー設備供用拠点
〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘7-1
大阪大学超高圧電子顕微鏡センター内
TEL 06-6879-7941
(微細構造解析プラットフォーム)
〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1
大阪大学産業科学研究所内
TEL 06-6879-4654
(微細加工プラットフォーム)
TEL 06-6879-4309
(分子・物質合成プラットフォーム)