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Nanofabrication Platform
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超高精細電子ビームリソグラフィー装置ELS-100T

超高精細電子ビームリソグラフィー装置

エリオニクス製 ELS-100T

【仕様】

 1.電子銃エミッター:ZrO/W熱電界放射型

 2.加速電圧:125kV, 100kV, 75kV, 50kV

 3.試料サイズ:6inch

 4.ベクタースキャン方式

【特徴】

 最小ビーム径φ2nmにて線幅10nm以下の細線描画が行えます。レジストパターンとしてはLine & Space 4nm & 50nmの加工が行えます。(実験条件によるものであり、保証するものではありません。)


ナノテクノロジー設備供用拠点

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘7-1
大阪大学超高圧電子顕微鏡センター内
TEL 06-6879-7941
(微細構造解析プラットフォーム)

〒567-0047
大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1
大阪大学産業科学研究所内
TEL 06-6879-4654
(微細加工プラットフォーム)
TEL 06-6879-4309
(分子・物質合成プラットフォーム)